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定義
GAA,一般指全環繞柵極晶體管,全稱是Gate-All-Around FET。GAA被廣泛認為是鰭式結構(FinFET)的下一代接任者。
1. 晶體管架構的演變
晶體管已經發展到通過按照摩爾定律不斷擴大特征尺寸來降低制造成本,同時提高電路性能。
傳統的平面晶體管是通過將柵極放置在溝道區域的頂部而形成的,從而有效地使器件在二維平面上導電。然而,隨著柵極長度的縮放,這限制了通道電荷的柵極可控性。因此,引入了FinFET架構,以進一步實現特征尺寸縮放。在鰭式場效應晶體管中,溝道的三面被柵極包圍。
通過增強通道電荷的柵極可控性,在更小的占位面積上實現了性能的提高、漏電流的降低和柵極長度的縮放。由于這些優勢,FinFET允許從14納米及更高波長成功擴展技術。然而,進一步調整工作電壓極具挑戰性。為了克服這一限制,引入了在通道的所有四個側面都具有柵電極的柵極全能(GAA)晶體管。這樣可以在降低工作功耗的同時顯著提高性能,從而推動基于CMOS的新技術的發展。 三星MBCFETTM MBCFETTM是三星獨特的專利GAA版本。由于通道的納米線格式小,傳統的GAA需要更多的堆棧,這增加了工藝的復雜性。然而,三星的 MBCFETTM 通道以納米片形式形成,因此每個堆棧可以實現更大的電流,從而實現更簡單的設備集成。 MBCFETTM的優勢